派瑞林是聚对二甲苯的商品名。在美国联碳公司使用沉积工艺制备薄膜后,派瑞林涂层被首先应用于军工及航天航空领域。此后,派瑞林涂层相继被应用于派瑞林涂层磁体在内的不同领域。最常用的派瑞林涂层主要为Parylene C和Parylene N两个类型。

派瑞林涂层化学气相沉积过程

1. 固态对二甲苯二聚体在120℃的真空环境下升华为气相;

2. 气相对二甲苯二聚体在650℃的温度下进一步裂解为活性单体;

3. 活性单体进入沉积室后沉积于被沉积物体表面并互相聚合。

派瑞林涂层磁体-1

派瑞林涂层磁体的优点

  • 不同于其他表面处理工艺,派瑞林涂层非常适于小尺寸磁体及微型磁体
  • 派瑞林涂层磁体表面无针孔;
  • 派瑞林涂层在高温下具有出色地稳定性;
  • 派瑞林涂层具有很好的防水性能。
  • 派瑞林不仅是一种耐化学腐蚀涂层,还是一种可以应用于医疗领域的生物相容性涂层。

派瑞林涂层磁体-2